Il tetrafluoruro di carbonio è un gas inerte incolore, inodore e non-infiammabile. Grazie alla sua elevata stabilità chimica e termica, ha applicazioni cruciali nell'industria, in particolare nei campi high-tech.
Il problema più grande con il tetrafluoruro di carbonio è il suo effetto serra estremamente forte. Il suo potenziale di riscaldamento globale (GWP) è 7350 volte quello dell’anidride carbonica (calcolato su 100 anni) e può rimanere stabile nell’atmosfera fino a 50.000 anni. Pertanto, la sua produzione e il suo utilizzo sono strettamente regolamentati e richiedono un riciclaggio e un trattamento estesi; è severamente vietato il rilascio diretto nell'atmosfera.
L'attacco e la pulizia al plasma sono le applicazioni più importanti e diffuse del tetrafluoruro di carbonio, soprattutto nei processi produttivi di semiconduttori e sistemi microelettromeccanici (MEMS). il tetrafluoruro di carbonio era originariamente utilizzato come refrigerante, denominato R-14. In ambienti inerti, il tetrafluoruro di carbonio agisce come gas protettivo e isolante del gas. A causa della sua inerzia chimica, non{5}}tossicità e facilità di rilevamento, il tetrafluoruro di carbonio viene utilizzato come gas tracciante nel monitoraggio ambientale e nella ricerca scientifica. il tetrafluoruro di carbonio viene utilizzato anche come gas laser e nella produzione di materiali per imballaggi flessibili a bassa temperatura.
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