A temperatura ambiente, il gas di tetrafluoro di carbonio CF4 è un gas comprimibile incolore, inodore e non infiammabile con elevata volatilità . È uno dei composti organici più stabili . a 900 gradi, non reagisce con rame, nichel, tungsten e molebdenum, ma solo a cabone a carbonio temperatura . è leggermente solubile in acqua e la sua solubilità è 0 . 0015% (rapporto peso) a 25 gradi e 0 . 1MPA. Tuttavia, quando brucia con gas combustibili, si decompone per produrre fluoruri tossici.
Il gas di tetrafluoruro di carbonio CF4 è attualmente il gas di incisione di candele plasmatica più utilizzata nell'industria della microelettronica . il suo gas di alta purezza e una miscela di tetrafluoride di alta purezza, silico di silicone di alta purizia possono essere ampiamente usati nell'incisione del silicio di silicone di silicone ad alta purizia positiva positiva a silico di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicon di silicone. Materiali a pellicola sottile di tungsteno .
È anche ampiamente utilizzato nella pulizia della superficie del dispositivo elettronico, nella produzione di celle solari, nella tecnologia laser, nell'isolamento della fase gassosa, nella refrigerazione a bassa temperatura, nell'agente di rilevamento delle perdite, nel controllo dell'atteggiamento del razzo spaziale e nel decontaminante nella produzione di circuiti stampati .
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