Carbon tetrafluoride cas 75-73-0
Nome prodotto: tetrafluoruro di carbonio tetrafluoruro di gas tetrafluorometano perfluorocarbonio
Grado del prodotto: grado analitico
Purività del prodotto: 99,999%
Specifiche di imballaggio: 40l
Nome cinese: tetrafluoruro di carbonio
Alias cinese: tetrafluorometano
CAS: 75-73-0
Einecs: 200-896-5
Formula molecolare: CF4
Peso molecolare: 88
Proprietà fisiche e chimiche: - punto di fusione: -184
Il tetrafluoride di carbonio è il gas di incisione di candele al plasma più utilizzato nel settore della microelettronica . È una miscela di gas ad alta purezza e gas tetrafluoruro di carbonio ad alta purezza con ossigeno ad alta purezza .}
1. può essere ampiamente usato nell'incisione della candela di silicio, biossido di silicio, nitruro di silicio, vetro di silicio fosforo e materiali a film sottile di tungsteno . per i sistemi di silicio e di biossido di silicio, quando si utilizza cf 4-} H2 REATTIVE ION, per il ragionamento dei gaso È possibile ottenere la selettività di 45: 1, che è molto utile quando si incidono film di biossido di silicio sulle porte Polysilicon .
2. È anche ampiamente utilizzato nella pulizia della superficie del dispositivo elettronico, nella produzione di celle solari, nella tecnologia laser, nell'isolamento della fase gassosa, nella refrigerazione a bassa temperatura,
Agente di rilevamento delle perdite, controllo dell'atteggiamento di razzo spaziale e agente di decontaminazione nella produzione di circuiti stampati .
3. Per la sua stabilità chimica estremamente forte, CF4 può essere utilizzato anche nelle industrie di fusione e plastica di metallo .
4. Il tetrafluoride di carbonio ha una buona solubilità di ossigeno, quindi viene utilizzato dagli scienziati per sostituire l'aria compressa ordinaria in esperimenti di immersioni ultra-profonde . È stato usato con successo sui topi e i topi possono ancora sfuggire in modo salvamente a una profondità da 275 a 366 metri .
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